概略主仕様 | |||
---|---|---|---|
型式 |
1000(GE/PT/GP) | 2000(GE/PT/GP) | |
測定範囲(mm) |
幅 奥行き 高さ |
1000 950 400 |
1800 950 400 |
パイプ測定機能 |
標準 |
標準 |
|
カメラ測定視野(mm) |
縦x横 深度 |
300 x 225 500 |
300 x 225 500 |
カメラ分解能(140万画素) |
測定ピッチ |
0.25 |
0.25 |
精度(μm) |
平面/段差 絶対値 平面/段差/球 繰り返し |
20/30 15/20/50 |
20/30 15/20/50 |
1パッチ測定時間(sec) |
2 |
2 |
|
外形寸法(mm) |
幅 奥行き 高さ |
1150 1260 1420 |
2150 1260 1420 |
総重量(kg) |
150 |
250 |
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